三维偏振XRF （能量色散X射线荧光）因使用了极化靶使其与传统的能量色散XRF不同。
Epsilon 5
降低背景
Epsilon 5
Epsilon 5是极化EDXRF谱仪，其光路核心是3维或称笛卡儿几何光路所定义的3维取向。来自光管的初级光束(黄色)激发到第一个轴向的极化靶.经过90散射，X向第二轴向向前进（蓝色）到达样品。样品产生的光品被探测器接收，探测器在第三轴向位置（粉色）。
降低背景
通过极化该几何光路消除了X射线光管的光谱，因此极大降低了光谱背景，背景比传统的2维光路的背景低了一个数量级，获得更低的检出限。
二次靶
极化靶提供了进一步的优点，尽管一些靶材料能散射自X光管到达样品的辐射，而另一些材料的荧光产额高，几乎是能单色激发样品。通过使用不同材料的靶材，有可能优化激发源，尤其是针
